Skip to main content

Акустооптический спектрометр АОС-МП

 

Акустооптический спектрометр АОС-МП

Акустооптический спектромер

Акустооптический спектрометр c электронной перестройкой АОС-МПпредназначен для эмиссионных актинометрических измерений концентрации активных частиц в плазмохимических процессах, а также для определения момента окончания процесса травления.

Прибор позволяет оптимизировать технологические процессы, применяемые в производстве СБИС и нанесении сверхпрочных покрытий.

Прямые актинометрические измерения концентрации химически активных частиц, осуществляемые с помощью предлагаемого акустооптического спектрометра, позволяют многократно сократить затраты на стадиях разработки и оптимизации плазмохимического процесса.

Для реализации актинометрического контроля относительной концентрации активных частиц требуется параллельный контроль минимум четырех спектральных каналов (см. рис. 1). При этом на получение одного отсчета затрачивается от 1 до 4 мс. Это дает возможность контролировать динамику реально протекающих плазмохимических процессов.

Рис.1. Динамика концентрации F*при травлении структуры Si* - SiO2 - Si в плазме SF6+2,5% Ar, полученная методом эмиссионной актинометрии.
Рис.1. Динамика концентрации F*при травлении структуры Si* - SiO2 - Si в плазме SF6+2,5% Ar, полученная методом эмиссионной актинометрии.

 

Основные технические характеристики
Спектральный диапазон, нм 250…420 и/или 415…820
Спектральное разрешение 0,05…0,4
Ширина канала, нм 1,6…7
Диапазон измеряемой спектральной плотности энергетической яркости (СПЭЯ), Вт/ср х м3 106 …109
Минимальное время одного отсчета, включая перестройку длины волны, нм 4,0
Погрешность измерения длины волны, нм ±0,2
Ресурс (от автономного источника питания) 3 часа непрерывной записи
Предел допускаемой относительной погрешности измерения СПЭЯ, % 15
Время установления рабочего режима, мин, не более 10
Длина оптического световодного входа, м 1,5
Угол зрения входной оптики, град 4
Диаметр зрачка входной оптики, мм 8
Интерфейс USB
Потребляемая мощность, Вт 40
Габариты, мм 280×330×95
Масса, кг 6