Skip to main content

Акустооптический спектрометр "Микрохрон-5"

 Акустооптический спектрометр c электронной перестройкой "МИКРОХРОН-5" предназначен для эмиссионных актинометрических измерений концентрации активных частиц в плазмохимических процессах.

Прибор позволяет оптимизировать технологические процессы, применяемые в производстве СБИС и нанесении сверхпрочных покрытий, а также увеличить эффективность использования дорогостоящего плазмохимического оборудования и добиться существенной экономии энергоресурсов и галогеносодержащих газов.


Прямые актинометрические измерения концентрации химически активных частиц, осуществляемые с помощью предлагаемого акустооптического спектрометра, позволяют многократно сократить затраты на стадиях разработки и оптимизации плазмохимического процесса.

Контроль динамики концентрации радикалов, осуществляемый в ходе процесса, практически исключает появление брака.

Кинетическая кривая накопления и гибели F*в импульсно модулированной плазме SF6+2,5% Ar, полученная методом АВР
Рис.2. Кинетическая кривая накопления и гибели F*в импульсно модулированной плазме SF6+2,5% Ar, полученная методом АВР

Прибор позволяет также реализовать модифицированный вариант оптической эмиссионной актинометрии - актинометрию с временным разрешением (АВР) для измерения кинетических кривых накопления активных частиц при импульсном зажигании разряда и их гибели после выключения (в паузе).

Таким образом, можно исследовать кинетику объемных и поверхностных процессов, протекающих в плазмохимических реакторах. При этом используется оригинальная методика измерения импульсных микрохронограмм (см. рис. справа) , в которой решетка коротких зондирующих импульсов "подсвечивает" спадающую концентрацию активных частиц в паузе послесвечения.
 

В основу принципа действия акустооптического спектрометра "МИКРОХРОН-5" положены принципиально большие скорости электронной перестройки измеряемых длин волн (более 3000 нм/с), высокое спектральное разрешение (1.0..0.5 нм) и светосила.
 

Программное обеспечение позволяет в режиме актинометрии осуществлять текущий контроль относительной концентрации до 7 компонент при использовании одного актинометра. Реализация метода АВР позволяет исследовать кинетику плазмохимических процессов с получением констант скоростей образования и гетерогенной гибели активных частиц.
 

Таким образом, прибор "МИКРОХРОН-5", в отличие от традиционной аппаратуры спектрального анализа, делает реализацию метода АВР легким и быстрым процессом.
 

Основные технические характеристики
Спектральный диапазон, нм 250…420; 415…790
Спектральное разрешение, нм 0,05…0,4
Спектральная чувствительность, Вт/срхм3х107 0,01
Динамический диапазон, дБ 45
Минимальное время одного отсчета, включая перестройку длины волны(в режиме снятия спектров), мс 4,0
Погрешность измерения длины волны, нм ±0,1
Минимальное время дискретности снятия микрохронограммы, мкс 1,0
Количество точек измерения в одном кадре микрохронограммы 2048
Максимальное количество повторов измерения микрохронограмм 500
Время измерения для 100 повторов на 4-х спектральных каналах 
с дискретностью 50 мкс, с
100
Потребляемая мощность, Вт 100
Угол зрения входной оптики, град 4
Диаметр зрачка входной оптики, мм 8
Световой вход, длина, м 1,5
Габариты фотоголовки, мм 350×180×45
Габариты БУОС, мм 450х150х180
Масса, кг 10